在精密制造与科研领域，罗茨真空泵的双转子非接触式设计，要求操作者必须遵循严格的设备管理规程。

启停标准化流程

启动前需完成三级检查：进气滤芯压差需<1kPa，水冷机型冷却水流量应维持在2-3m/s流速区间。点动测试时，转子空载噪声应稳定在75dB(A)以内，频谱分析不应出现3倍频异常谐波。

分段压力控制应遵循"30%预抽-60%过渡-100%满负荷"的梯度加载原则。停机时需先关闭进气阀，维持前级泵运行至系统压力回升至5kPa以上，避免高压差造成的轴承轴向力突变。

运行状态量化监测

建立基于红外热成像的温升监测体系，规定轴承座温差ΔT≤40℃(环境温度+35℃)。润滑油动态粘度变化超过初始值15%时必须更换，振动速度有效值控制在2.8mm/s以下。采用声发射传感器捕捉转子间隙变化，异常信号频率超过10kHz需立即停机。

预防性维护技术规范

每2000运行小时必须进行：

转子径向跳动量检测(允差≤0.05mm)

齿轮侧隙调整(0.1-0.15mm范围)

唇形密封件邵氏硬度检测(衰减值<5HA)

低温环境存储应注入VCI气相防锈油，并每周执行15°手动盘车。冷却器维护采用0.6MPa脉冲式氮气吹扫，禁止使用金属刷具。

安全操作边界条件

明确禁止工况：

爆炸性气体(MESG>0.9mm)

卤素介质未配置钛材过流部件

粉尘浓度>5mg/m³未装设旋风分离器

系统保护响应要求：电源中断后2秒内必须触发气动快关阀，转子惯性下滑时间超过8秒需检查制动模块。当容积效率衰减至出厂值的82%时，强制进入大修程序。